EUV光刻机是半导体制造的核心设备，只有ASML公司只能生产，单台售价约10亿元，以前三星、台积电等公司都要抢着买，但今年半导体形势发生了变化，EUV光刻机反而因为耗电太多，台积电计划关闭省电。

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据产业链消息人士手机晶片专家介绍，由于先进工艺产能利用率开始下降，评估后下降时间将持续一段时间，台积电计划将从年底开始EUV 关闭设备以节省EUV设备耗电量巨大。

据了解，目前台积电约80台EUV主要用于7的光刻机nm、5nm以下先进技术将于今年9月批量生产3个nm工艺，都需要EUV光刻机，但随之而来PC、对手机、显卡等产品的需求下降，先进工艺生产的芯片必然会受到影响。

苹果今年的iPhone 14 Pro系列的A16处理器并不着急nm工艺，还在用4nm此外，苹果还因为3nm能效问题取消了第一代3nm芯片生产计划。

相比之前的DUV光刻机，EUV光刻机需要使用高能激光器，光线会多次折射，造成巨大损失。早期效率只有0.02%。现在大规模生产可以达到2%的效率，但也意味着大部分电力都要消耗。

EUV光刻机刻机一天需要3万度左右的电，一年耗电约1000万度，是一只完整的电老虎。

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